活動概要

平成１７年度＜活動概要＞

１．委員会名称：半導体生産技術専門委員会


２．役員（敬称略）

    委員長   ： 長田 俊彦　 （富士通）
    副委員長 ： 島田 　孝　 （ソニー）
    副委員長 ： 見方 裕一 　（東芝）
    会計監事 ： 本間 三智夫 （ＮＥＣエレクトロニクス）


３．メンバ構成  （企業名）

    沖電気工業、三洋電機、シャープ、セイコーエプソン、ソニー、東芝、ＮＥＣエレクトロニクス、富士通、
    松下電器産業、ルネサステクノロジ、ローム      
    上記１１社の正副委員および小委員会主査 １名   

４．活動目的

    (1)半導体メーカーのウェ−ハプロセス技術、特に生産技術について、各社間のコミュニケー
       ションをはかり、共通課題の解決をはかる。     
    (2)小委員会活動として        
       �@ ｅ-Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ小委員会ではIT技術の生産への応用、効率化をはかる
         ため、ＥＥＳの導入促進を進める。 
       �A ＤＦＭプロダクトマネジメント小委員会では、製造側から見たキーパラメーターの情報と
　　　　 その活用を調査し、標準化を推進する。 
    (3)半導体技術ロードマップ専門委員会、半導体環境安全委員会との連携を行う。